全站儀坐標測量是測定目標點的三維坐標(X，Y，H)，實際上直接觀測值仍然是水平角、垂直角和斜距，通過直接觀測值，計算測站點與目標點之間的坐標增量和高差，加到測站點已知坐標和已知高程上，最后顯示目標點三維坐標，計算坐標增量時以當前水平角為方位角，全站儀坐標測量主要用于碎部點數(shù)據(jù)采集中。

全站儀坐標測量的操作步驟如下：

1、安置儀器并檢查相關(guān)設(shè)置
全站儀坐標測量中包含水平角觀測、垂直角觀測和距離觀測，故有關(guān)角度測量的設(shè)置和距離測量的設(shè)置對坐標測量會產(chǎn)生影響，坐標測量前應(yīng)檢查相關(guān)設(shè)置。
2、進入坐標測量狀態(tài)
在測量模式下，按“CORD“鍵或“坐標”軟鍵進入坐標測量狀態(tài)，進入坐標測量狀態(tài)，會有三項或更多的選擇，測站點設(shè)置/后視點設(shè)置/測量/..…...
測站點設(shè)置就是告訴儀器當前測站點的坐標和高程，這是計算目標點三維坐標的基礎(chǔ)。后視點設(shè)置就是將當前的水平度盤設(shè)置成方位角方向，這是計算測站點至目標點坐標增量的基礎(chǔ)。測量就是進行目標點的坐標測量，顯示測量結(jié)果。

3、測站點設(shè)置
選擇測站點設(shè)置，進入測站點設(shè)置狀態(tài)，測站點設(shè)置通常有兩種方式：一是按“輸入”鍵，直接輸入測站點坐標和高程；二是按“調(diào)用“鍵，選擇儀器已存有的測站點坐標和高程數(shù)據(jù)。
如果不進行測站點設(shè)置，直接進入坐標測量，儀器將默認上一次輸入的測站點坐標和高程為當前測站點數(shù)據(jù)。如果沒有上一次輸入的數(shù)據(jù)，儀器將測站點坐標和高程均視為零。
測站點設(shè)置時還應(yīng)輸入儀器高，儀器高用于高差計算。

4、后視點設(shè)置
選擇后視點設(shè)置，進入后視點設(shè)置狀態(tài)。有的儀器在測站點設(shè)置回車后直接進入后視點設(shè)置狀態(tài)。后視點設(shè)置通常有兩種方式：坐標、角度。選擇坐標方式后，再選擇是直接輸入坐標還是調(diào)用已存坐標，具體操作同測站點設(shè)置。選擇角度方式后，可直接輸入后視方向的方位角。此時，儀器會提醒觀測者照準后視點，確認后完成后視點的設(shè)置。
后視點設(shè)置的目的就是使儀器當前照準方向的水平度盤讀數(shù)與地面上測站點與目標點構(gòu)成的方位角一致，為儀器在坐標測量的計算中提供實時的方位角，后視點選擇角度方式時，相當于對水平度盤置角；選擇坐標方式時，儀器根據(jù)測站點坐標和后視點坐標反算方位角，并以此配置當前水平度盤。如果不進行后視點設(shè)置，直接進入坐標測量，儀器將當前水平角默認為方位角，并以此計算目標點的坐標。

5、后視點觀測
后視點設(shè)置完成后，可以觀測后視點一次，也可以不觀測。觀測后視點，會顯示后視點的觀測結(jié)果，觀測后視點有檢查的功能：當觀測的坐標、高程與已知的坐標、高程相差甚微時，表明測站設(shè)置無錯誤。否則，應(yīng)檢查測站點、后視點點號、數(shù)據(jù)輸入的正確性。
用觀測后視點來檢查測站設(shè)置，不能發(fā)現(xiàn)方位角的錯誤。全站儀坐標測量測站設(shè)置的嚴格檢查應(yīng)在第三個已知點上進行。
6 、測站設(shè)置檢查
將照準目標安置在第三個已知點上，在坐標測量狀態(tài)下測量該點的坐標和高程。當觀測的坐標、高程與已知的坐標、高程相差甚微時，表明測站設(shè)置無錯誤。否則，應(yīng)檢查測站點、后視點點號、數(shù)據(jù)輸入的正確性。
坐標測量的結(jié)果只有在測站設(shè)置正確的狀態(tài)下才是有用的，否則全是錯的。

7、選擇工作文件
選擇工作文件，為觀測數(shù)據(jù)指定一個記錄文件。

8 、坐標測量
當測站設(shè)置無誤時，就可以進行目標點的坐標測量。選擇“測量”鍵進入坐標測量狀態(tài)。
在目標點安置棱鏡(合作目標為棱鏡時)，將望遠鏡照準棱鏡中心。按“測量”鍵，儀器啟動“坐標測量”并顯示結(jié)果。
在記錄前，需要輸入未知點點號、棱鏡高、編碼。如果不輸入點號，儀器自動按數(shù)字順序在前一點號的基礎(chǔ)上加1記錄。
如果不輸入棱鏡高，儀器自動按前一點的棱鏡高計算。
編碼是觀測者賦予目標點的一個屬性注記，作為觀測數(shù)據(jù)的組成部分，與觀測值一起被記錄存儲于工作文件中，可以不輸入編碼。如果不輸入，則該數(shù)據(jù)處為空白。
在碎部點數(shù)據(jù)采集中，對碎部點精度要求不是很高，通常以手持對中桿來保持棱鏡的對中、整平，這樣會使測量效率提高很多。

9、中間和結(jié)束檢查
進行坐標測量時，不僅要檢查測站設(shè)置是否正確，測量過程中和測量結(jié)束時還應(yīng)檢查水平度盤讀數(shù)是否正確。通常是在測站設(shè)置完成后，選擇一明顯標志(如避雷針、電桿等)，記錄其水平度盤讀數(shù)。在測量過程中或測量結(jié)束時，再觀測其水平度盤讀數(shù)，比較變化情況，判斷儀器水平度盤是否變動，確保觀測數(shù)據(jù)的可靠性。
需要指出的是，全站儀坐標測量是單鏡位(一般為盤左)觀測的結(jié)果，其中高程中包含指標差的影響。當儀器的指標差過大時，對遠距離的坐標測量，必然引起較大的高程誤差。打開雙軸補償，只能補償垂直軸傾斜造成的影響，而不能改變指標差的大小。所以，一般在數(shù)據(jù)采集之前，需要進行垂直度盤指標零點的檢校。